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高溫氣體質(zhì)量流量控制器

產(chǎn)品時間:2024-06-18

簡要描述:

高溫氣體質(zhì)量流量控制器
型號:MC-DG910HT
這款產(chǎn)品流體經(jīng)過部分采用全金屬密封,
控制部分和過流部分開設(shè)計,
介質(zhì)工作溫度可達120℃
在半導體、鍍膜、太陽能多晶硅制程中有廣泛的應(yīng)用

高溫氣體質(zhì)量流量控制器

品牌:WAWICK

型號:MC-DG910HT

傳輸速度:9.6KBaud - 38.4KBaud
支持±15VDC或+24VDC供電使用
適用原廠RS485 ASCII通訊協(xié)議
可通用Modbus-RTU協(xié)議
配置兩個RJ11通訊接口,可實現(xiàn)多個MFC串聯(lián)使用
可通過Modbus或RS485控制軟件編輯設(shè)備地址和傳輸速度單條總線可實現(xiàn)最多125臺MFC鏈接
單條總線可實現(xiàn)最多125臺MFC鏈接

可配OLED集成控制面板,實現(xiàn)無工具獨立控制與配置設(shè)備

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注1:高溫氣體質(zhì)量流量控制器為全金屬密封設(shè)計。 在50-90 degC溫度范圍,選用中小流量型號  

   (MC- DG910/MC-DG911)。 在90-120 degC溫度范圍,選用大流量型號(MC-DG912)。

注2:高溫MFC支持沃威產(chǎn)品下的所有通訊協(xié)議,具體選型見前頁或聯(lián)系銷售代表。






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